神州半导体申请基于频率簇的等离子体源控制系统专利维持母线电压稳定

　　专利摘要显示，本发明公开了等离子体源技术领域内的一种基于频率簇的等离子体源的控制系统及方法。该控制系统的控制单元内置LSF负载阻抗预测模型和频率簇调制模块，控制PWM驱动单元输出脉冲信号；维持电路用于进入恒功率阶段后维持母线电压稳定；采样单元采集谐振输出电压和电流；多传感器模块监测反应腔体的气体流量Q、压力P和温度T；LSF模型基于Q、P、T输出负载阻抗预测值Z。

　　天眼查资料显示，江苏神州半导体科技股份有限公司，成立于2016年，位于扬州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6600万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏神州半导体科技股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目33次，财产线条，此外企业还拥有行政许可25个。

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